目的：

    本课程主要向学员介绍磁悬浮分子泵的工作原理、结构及应用。

内容大纲/主要内容：

磁悬浮分子泵由于无油、低振动、免维护及高稳定性的特点广泛应用于高技术产业工艺、国防核心器件、尖端科研仪器等超高真空应用领域。北京中科科仪股份有限公司面向国家重大需求，创新驱动发展，研发出国内首台具有完全自主知识产权的磁悬浮分子泵并成功实现量产。本课程对磁悬浮分子泵工作原理及结构组成进行了讲解，并对稀薄流态真空性能仿真、高性能涡轮转子设计、整体转子精密加工、高精度位移传感器、磁悬浮轴承及控制、无位置传感器高速电机及控制、复杂转子系统动力学分析等关键技术进行了介绍，并对磁悬浮分子泵在刻蚀、镀膜、离子注入等领域的应用进行了介绍。

学员收益：

了解磁悬浮分子泵的工作原理，装配结构及所需关键技术，了解磁悬浮分子泵的典型应用场景。